石英管的原料为高纯度石英材料，它界定了反应的范围并使反应均匀，用于做真空chamber用。石英管结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔，起到一个窗口的作用，本身并不产生等离子体，等离子是两边的微波源与铜波导管产生的。
为什么需要定期更换石英管?
氮化硅膜的厚度，折射率会直接影响到太阳能电池片吸光系数、少子寿命、转换效率灯。等离子气体以一定流量穿透石英管进入工艺腔的过程中会有部分的能量损失，随着镀膜时间的推移，石英管表面会附着越来越厚的Si3N4，而等离子在穿透过程中将损失越来越多的能量，直至无法穿透石英管及附着的Si3N4层，这样会影响石英管的激发效果，影响镀膜均匀性和效率。不便于调节反应参数，因此必须定期更换石英管，也就是起到一个“擦窗户”的效果，有效的减少了等离子体的能量损失，从而更高效的配合工艺腔内的化学反应。一般来讲，石英管的更换周期一般在４～６天，也就是说至少每周都需要更换腔体内石英管以保证其正常的镀膜效果。
